轻度呼吸窘迫综合征患儿通过氧罩供氧就能恢复很好，中度呼吸窘迫综合征患儿通过其自主呼吸和CPAP的支持亦可恢复很好，重度呼吸窘迫综合征患儿需要呼吸机支持。
当使用氧罩或鼻导管供氧时，氧气和空气混合，氧气的百分比供给应通过氧气分析仪测定并经常记录。氧供通过直接的分钟流量比例既不能精确计算，又不能评估。氧气必须加温（36~37℃）加湿，以防止分泌物变干和气道痉挛。
CPAP适用于有自主呼吸的呼吸窘迫综合征患儿，他们需要FiO2 ≥40%以维持氧分压在50~70mmHg。如果患儿情况恶化，应早期使用CPAP，正压使肺泡在呼吸周期始终张开，从而改善氧合，并减少大量血液经过肺不张区域。
